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개별 장비의 전원, 속도, 위치 등을 제어하는 장비
EFEM UNIT
해당 장비의 카트리지에 웨이퍼를 이송하는 장비
ETU UNIT
웨이퍼가 건조되지 않도록 하는 액체 도포 장치
UDR-ARM
반도체 제조 라인의 웨이퍼 카드리지 이송 장치
Wafer cartridge transfer robot
반도체 제조 라인의 웨이퍼 카드리지 이송 장치
UP-DOWN ROBOT FOR WAFER
상/하의 주 로봇에 웨이퍼를 공급하는 장치
K-8 0TA
4개의 세정 장치에 웨이퍼를 공급하는 장치
Cassette upper rack
웨이퍼 카트리지를 적재하여 다음 공정을 위해 카트리지가 대기하는 장비
K-SPIN
상/하로 이동 회전하며 웨이퍼를 공급하는 장치
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